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無塵凈化車間、凈化室的溫濕度記錄主要是依據您的制作工藝規定來明確，在達到制作工藝的情況下，無塵廠房挑選需要考慮到人的舒適感。伴隨著空氣過濾規定的提升，加工工藝對溫度濕度的需求也愈來愈高，無塵室凈化車間需要到達一定的溫濕度記錄級別。

例如在規模性電子器件生產制造的光刻技術曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100um的單晶硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形脹大，因此需要有土0.1度的控溫，與此同時規定環境濕度值一般較低，由于人流汗之后，對商品將有環境污染，尤其是怕鈉的半導體材料生產車間，這類生產車間不適合超出25度。環境濕度過高造成的問題大量。空氣濕度超出55時，冷卻循環水壁厚上面冷凝水，假如出現在準確設備或線路中，便會造成各種各樣安全事故。空氣濕度在50的時候容易銹蝕。

殊不知針對絕大多數清潔室內空間，為了避免外部環境污染入侵，需要維持內部結構的工作壓力（負壓）高過外界的工作壓力（負壓)。壓差的保持一般應滿足下列標準:

1.潔凈度等級等級高的室內空間的負擔要高過鄰近的潔凈度等級等級低的室內空間的工作壓力。

2.互通凈化室中間的門要開在潔凈度等級等級高的屋子。

3.清潔室內空間的負擔要高過非清潔室內空間的工作壓力。壓差的保持借助排風量，這一排風量要能賠償在這里一壓差下從間隙泄漏掉的排風量。因此壓差的物理意義便是泄漏(或滲入）排風量根據凈化室的各種各樣間隙時的摩擦阻力。

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